WEP041 　ポスター①　 7月31日 2Fリハーサル室 13:00-15:00

表面増強LIBS法を用いたニオブ電解研磨液の分析

Analysis of niobium electro-polishing liquid using surface-enhanced LIBS method

○仁井 啓介，井田 義明（マルイ鍍金工業株式会社），遠山 裕太，島津 佑輔，松本 歩，八重 真治（兵庫県立大学）

○Keisuke Nii, Yoshiaki Ida (Marui Galvanizing Co., Ltd.), Yuta Toyama, Yusuke Shimazu, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae (University of Hyogo)

ニオブ製超伝導空洞の製造では、性能向上のための表面処理として電解研磨が採用されている。空洞量産に向けて電解研磨の品質を向上させるためには、電解液中に溶け込んでいるニオブの量を簡便に分析、確認する必要がある。レーザー誘起ブレークダウン分光法（LIBS法）はレーザーアブレーションで生成するプラズマの発光分光により試料の元素分析を行う方法であり、多様な環境で簡便に多元素を分析できる手法として注目されている。今回、微量溶液の分析が可能な表面増強LIBS法を用いて電解研磨後のニオブ電解液中のニオブ量の定量分析を試みた。分析の感度や精度を向上させるため、基板には多孔質シリコンを使用した。その結果ニオブ溶解量1～10g/Lの範囲で直線的な検量線が得られ、定量分析が可能であることが分かった。