WEP28 　ポスター②　 8月30日 14号館1441教室 13:30-15:30

KEK-PFにおける非円筒ダクト内へのNEGコーティング試験

NEG coating test inside non-cylindrical beam ducts at KEK-PF

○山本 将博，本田 融，谷本 育律，内山 隆司（高エネ研），渡辺 瑠合（総研大）

○Masahiro Yamamoto, Tohru Honda, Yasunori Tanimoto, Takashi Uchiyama (KEK), Ruau Watanabe (SOKENDAI)

200℃程度のベーキング温度で活性化・排気作用を有するNEGコーティングは、特に近年はビームダクトが細く排気が容易ではない高輝度放射光蓄積リングのビームダクトに採用されている。その中でも挿入光源部などではビームダクトは非円筒で扁平な形状となるため、その内壁に一様にNEG膜を形成するためには工夫が必要になる。複数のスパッタリングターゲットとなるワイヤーを配置、各ワイヤーの電流・電圧値の制御で対応する。本発表では、非円筒ダクトに対するスパッタリング成膜実験のセットアップ、実験結果について報告する。