TUP54 　ポスター①　 8月29日 14号館1444教室 13:30-15:30

フッ酸を用いないニオブ電解研磨法の探索（3）正弦波電圧を用いた電解研磨

Search of niobium electro-polishing method without hydrofluoric acid (3) electro-polishing with sinusoidal wave voltage

○仁井 啓介（マルイ鍍金工業株式会社），文珠四郎 秀昭（KEK），八代 仁（岩手大学）

○Keisuke Nii (Marui Galvanizing Co., Ltd.), Hideaki Monjushiro (KEK), Hitoshi Yashiro (Iwate University)

マルイ鍍金、KEK、岩手大学では従来の濃硫酸とフッ酸に代わる、安全性の高いニオブ電解研磨（EP）液、EP手法の研究開発を行っている。これまでにメタンスルホン酸、グリコール酸とフッ化アンモニウムを用いた直流EP、パルス反転電圧を用いたEPの結果について報告してきた。今回、EP電圧として正弦波（交流）電圧を用いたニオブEPを行った。対向電極、正弦波波形、電解液等のパラメータを変えてEPを行い、研磨速度、研磨後表面を確認した結果、パルス反転電圧を用いた場合と同等の研磨速度、研磨表面が得られることがわかった。