THP35 　ポスター③　 8月31日 14号館1441教室 13:30-15:30

1.7kV SiC MOSFETを用いた半導体MARX型マグネトロンモジュレータ

A solid-state MARX-type magnetron modulator with 1.7kV SiC MOSFET

○生駒 直弥，徳地 明（パルスパワー技術研究所）

○Naoya Ikoma, Akira Tokuchi (Pulsed Power Japan Laboratory)

医療用，産業用の小型電子加速器が普及する中で，その高周波源であるマグネトロンを駆動するためのモジュレータ電源にも小型化，高効率化が求められている．一方で，半導体デバイスの中でも高耐圧，低損失という優れた特徴を有するシリコンカーバイド（SiC）を用いたパワーMOSFETも普及が進み，現在では1.7kV品が入手可能となっている．この度，我々は，1.7kV SiC MOSFETを用いた半導体MARX型のマグネトロンモジュレータを製作したので報告する．