THP28 　ポスター③　 8月31日 14号館1441教室 13:30-15:30

表面部分窒化無酸素無炭素Ti蒸着膜の排気速度測定と 放射光ビームラインへの応用

Pumping speed measurement of surface partially nitrided oxygen-free carbon-free Ti deposited films and application to synchrotron radiation beamlines

○菊地 貴司，片岡 竜馬，田中 宏和（高エネ研），若林 大佑，大東 琢治，仁谷 浩明（高エネ研、総研大），上園 波輝，櫻井 岳暁（筑波大），間瀬 一彦（高エネ研、総研大）

○Takashi Kikuchi, Ryouma Kataoka, Hirokazu Takana (KEK), Daisuke Wakabayashi, Takuji Ohigashi, Hiroaki Nitani (KEK,SOUKENNDAI), Namiki Uezono, Takeaki Sakurai (Univ. of Tsukuba), Kazuhiko Mase (KEK,SOUKENNDAI)

高真空中で加熱すると反応性の高い表面が生成し、残留ガスを排気する材料を非蒸発型ゲッター（NEG）と呼ぶ。NEGは無電源で超高真空を維持できることから、ビームラインに応用すれば、放射光実験施設のCO2排出削減に貢献する。本研究では炭素と酸素が極めて少なく、表面を部分的に窒化したTiをICF203ブランクフランジに蒸着して、排気速度測定装置に設置し100℃、150℃、200℃、250℃で24時間ベーキングした時の全圧の変化とH2に対する排気速度を測定した。その結果、150℃ベーキングで残留ガスを排気し、250℃までベーキングすると有意にH2を排気することを見出した。そこで、PF2.5GeVリングのBL-12Cの新上流部の配管内面に表面部分窒化無酸素無炭素Ti蒸着し、250℃ベーキングしたところ、真空封じ切り状態で、2.2×10–8 Paの超高真空を維持できることを確認した。