WEOA02 　加速構造①　 8月11日 会議室A 9:20 - 9:40

高周波窓に用いられるセラミックに関する研究

Research on ceramic for RF window

○山本 裕亮（京セラ株式会社），山本 康史（高エネルギー加速器研究機構），吉住 浩之，中村 勝美（京セラ株式会社），道園 真一郎（高エネルギー加速器研究機構）

○Yuusuke Yamamoto (Kyocera Corp.), Yasuchika Yamamoto (KEK), Hiroyuki Yoshizumi, Katsumi Nakamura (Kyocera Corp.), Shinichirou Michizono (KEK)

京セラ株式会社と高エネルギー加速器研究機構は、セラミック高周波窓としての必要特性を満たす材料開発に関する共同研究を行っています。これまでの研究で開発されたAO479Bはいくつかの製品に適用されていますが、製品への適用にはサイズ制限があります。近年大型の高周波窓の製作要求に応えるため、サイズに関係なく製品に適用できる新材料AO479Uを開発しました。本報告ではAO479Uの様々な特性について窒化チタン（Titanium Nitride (TiN)）コーティングの有無も含め他の材料との比較評価を実施しています。加速空洞の運転中にセラミック高周波窓に生じる発熱やマルチパクタ放電について、アルミナ材料や製造工程の影響度合いを明確にするため、セラミック高周波窓としての重要な特性（比誘電率、誘電正接、表面抵抗率、体積固有抵抗率、二次電子放出係数、TiNコーティングの厚み）を測定しそれらの関係性を調査しましたので、ここに報告します。