TUOA05 　ビーム診断・ビーム制御②　 8月10日 会議室A 17:20 - 17:40

中電流イオン注入機におけるニューラルネットワークによるビームパラメータ自動生成システムの開発

Beam tuning parameter optimization by Neural Network on the NISSIN BeyEX medium current ion implanter

○竹村 真哉（日新イオン機器株式会社）

○Shinya Takemura (Nissin Ion Equipment CO., LTD.)

半導体デバイス生産におけるイオン注入プロセスにおいて、ビーム調整パラメータは生産性に直結する重要な設定項目である。 しかし、ビーム調整パラメータは、イオン源状態や取り付け精度、ビームラインの汚染などによる物理的に複雑な相互作用に影響されるため、プロセスに対してこれらのパラメータが徐々にミスマッチを引き起こす。 そのため、適切なパラメータを取得するために定期的に手動でビーム調整を行う必要があった。 また、新規プロセスに対するビーム調整においても、手動介入が必要である。 これらの調整工数の削減を目指し、本研究においてはニューラルネットワークを用いたビーム調整パラメータの自動生成システムを開発し、その性能評価を行った。