WEPP42 　ポスターセッション①　 9月2日 ポスター会場 12:40-14:40

新しい非蒸発型ゲッターである分子/無酸素Ti薄膜の作製と性能評価

Preparation and performance evaluation of molecular/oxygen-free Ti thin film as a new non-evaporable getter

○小野 真聖（東大），佐藤 裕太（横国大），増田 裕介（東京理科大），菊地 貴司（KEK），大野 真也（横国大），中山 泰生（東京理科大），間瀬 一彦（KEK, 総研大），吉岡 和夫，吉川 一朗（東大）

○Masato Ono (UTokyo), Yuta Sato (YNU), Yusuke Masuda (TUS), Takashi Kikuchi (KEK), Shinya Ohno (YNU), Yasuo Nakayama (TUS), Kazuhiko Mase (KEK, SOKENDAI), Kazuo Yoshioka, Ichiro Yoshikawa (UTokyo)

非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプは、超高真空中での加熱後に室温に戻すと活性な気体を吸着するNEGの性質を利用した真空ポンプで、排気速度が大きく、オイルフリー、無騒音、無振動、小型、軽量、省エネルギーといった特徴から、加速器で広く使用されている。しかしながら、既存のNEGポンプには、1) 大気曝露時にNEG材料の表面層が酸化し、排気性能が低下する、2) 活性化温度が比較的高い（ZrVFe合金の場合は450℃、TiZrV薄膜の場合は180～200℃）という課題があった。最近我々は125℃、6時間加熱で活性化するNEGである無酸素Pd/Tiを開発したが、H2とCOしか排気しないという課題が残った。そこで我々は超高真空下で無酸素Tiを成膜したのち、特定の気体を導入してTi薄膜に分子を吸着させることで活性なTi膜を保護する分子/無酸素Ti 薄膜を作製した。分子/無酸素Ti薄膜は、1) 大気曝露によるTi表面の酸化を抑制できる、2) 真空中での加熱により分子を脱離することで活性化できる、3) H2OやO2、H2、CO、CO2などの残留ガスを排気できる、という特性が期待できる。本発表ではN2、またはAr、CD3OH、空気を用いて分子/無酸素Ti 薄膜を作製し、活性化後に真空密閉したときの圧力曲線測定や、オリフィス法による排気速度測定を行った結果について報告する。