THPP35 　ポスターセッション②　 9月3日 ポスター会場 13:10-15:10

1.7kV-SiC-MOSFETを搭載したILC用MARXモジュレータの開発

Developmet of MARX modulator for ILC using 1.7kV-SiC-MOSFET

○澤村 陽，徳地 明（株式会社パスルパワー技術研究所），明本 光生，中島 啓光，川村 真人，夏井 拓也（高エネルギー加速器研究機構）

○Yo Sawamura, Akira Tokuchi (PPJ), Mitsuo Akemoto, Hiromitsu Nakajima, Masato Kawamura, Takuya Natsui (KEK)

ILC（国際リニアコライダー）は、計画は、全長約30kmの直線加速器で、現在達成しうる最高エネルギーで電子と陽電子の衝突実験を行う計画。 ILC計画の主線形加速器にはマルチビームクライストロンシステムが搭載される。超伝導加速空洞に加速電場を生成するためのＲＦ電力は、マルチビームクライストロンとそれを駆動するクライストロン電源で構成される。 クライストロン電源はマルクス変調器と呼ばれ、120kV 140A 1.9msのパルス電圧を発生し、マルチビームクライストロンのカソードに供給する。 小型、低コスト、高信頼性が要求される。 試作電源のMARXモジュレータはSiC MOS-FETとSiCダイオードは2.4kVの耐圧が必要であり、1.2kVの耐圧の2つの素子を直列に接続して構成している。 本研究ではさらに信頼性を向上させるため、４０%以上デバイス耐圧が高い1.7kV-SiC-MOSFETを使用した開発を行った。連続運転でのデバイス温度評価も実施し、ILC用MARXモジュレータの評価試験について報告する。