FRPI002 　加速構造　 8月2日 国際科学イノベーション棟5階 ホワイエ 10:50-12:50

高周波窓に用いられるセラミックに関する研究

Research on ceramic for RF window

○山本 康史，道園 真一郎（高エネルギー加速器研究機構）

○Yasuchika Yamamoto, Shinichiro Michizono (High Energy Accelerator Research Organization)

高エネルギー加速器研究機構(KEK)では数年前から高周波窓に用いられるセラミックに関する調査・研究が行われてきた。重要な評価指標としては、二次電子放出係数、比誘電率、誘電正接、表面抵抗率、体積抵抗率、である。二次電子放出係数については走査型電子顕微鏡にビームブランカーを取り付けてパルスビームを用いた測定を行っている。セラミックの製造会社5社から8種類のサンプルを入手し、またそれらに窒化チタンコーティングや酸化クロムコーティングを施し、二次電子の振る舞いを比較した。本発表では、セラミックの二次電子放出係数の測定方法および最新結果に加えて、比誘電率、誘電正接、表面抵抗率、体積抵抗率の測定結果のまとめを発表する。