FRPH017 　真空　 8月2日 百周年時計台記念館 国際交流ホール 10:50-12:50

無酸素Pd / Tiコーティングを利用したフィン型ICFゼロレングス非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプの開発

Development of fin-type ICF zero-length nonevaporable getter (NEG) pump using oxygen-free Pd/Ti coating

○佐藤 裕太（横国大），菊地 貴司（高エネ研），宮澤 徹也（総研大），大野 真也（横国大），間瀬 一彦（高エネ研）

○Yuta Sato (YNU), Takashi Kikuchi (KEK), Tetsuya Miyazawa (SOKENDAI), Shinya Ohno (YNU), Kazuhiko Mase (KEK)

非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプは、活性残留ガスに対する排気速度が大きい、オイルフリー、無騒音、無振動、小型、軽量、省エネルギーであるため、加速器で広く使用されている。しかしながら従来のNEGポンプには、1) 大気導入と活性化を繰返すと排気速度が低下する、 2) 活性化温度が比較的高い（ZrVFe合金の場合は450℃、TiZrV膜の場合は180～200℃）、3) 専用の電源が必要、4) SAES gettersが市場をほぼ独占していて高価、といった課題がある。そこで我々は、新しいNEG材料である無酸素Pd/Ti薄膜を使用した新しいフィン型ICF203ゼロレングスNEGポンプを開発し、オリフィス法による排気速度測定を行った。150℃で12、6、3、1.5時間活性化を行った後のH2に対する初期排気速度は、それぞれ2350、2240、2080、1950 L/s、150℃で12、6、3、1.5時間の活性化を行った後のCOに対する初期排気速度は、それぞれ1560、1560、1560、1560 L/sであった。本NEGポンプの利点は、1) 大気導入と活性化を繰返しても排気速度が低下しない、2) 150℃、6〜1.5時間の条件で活性化して、H2、COを排気する、3) 専用の電源と電流導入が不要で国内生産できるので低価格（2019年3月市販開始）、 4）コンパクトかつ軽量、の4点である。