WEP111 　真空　 8月8日 大展示ホール 13:10 - 15:10

NEG ポンプのダスト測定

MEASUREMENT OF DUST OF NON-EVAPORABLE GETTER PUMP

○照井 真司，石橋 拓弥，阪井 寛志（高エネ研）

○Shinji Terui, Takuya Ishibashi, Hiroshi Sakai (KEK)

多くの加速器で現在、真空中のダストが問題になってきている、例えば超伝導空洞はダストが入るとフィールドエミッションの原因となり性能を引き出すことができない。他には高電圧を印加する電子銃、ダストトラッピングが問題となるパラメーターの真空チェンバーが挙げられる。今回我々は、真空中で使用できるパーティクルモニターを用いて、超高真空で良く用いられるNon-evaporable getter pump (NEG pump)のダストの測定を行った。測定方法は、排気・パージの繰り返し、NEG pump活性化時、活性化後のパージなどのパターンで行った。ポンプの種類は、ストリップ型NEG pump（ST 107）、CapaciTorr等である。本報告では、試験システムの概要、試験結果とその考察を行う。