THP063 　高周波源　 8月9日 大展示ホール 13:10 - 15:10

面実装型３．３ｋＶＳｉＣＩＬＣ電源の開発

A development of SiC MOS FET MARX type Klystron Modulator for International Linear Collider.

○澤村 陽，徳地 明（株式会社パスルパワー技術研究所），明本 光生，中島 啓光，川村 真人（KEK）

○Yo Sawamura, Akira Tokuchi (Pulsed Power Japan Laboratory Ltd.), Mitsuo Akemoto, Hiromitsu Nakajima, Masato Kawamura (KEK)

ILC（国際リニアコライダー）は、全長約30kmの直線加速器で、現在達成しうる最高エネルギーで電子と陽電子の衝突実験を行う計画である。宇宙初期に匹敵する高エネルギーの反応を作り出すことによって、宇宙創成の謎、時間と空間の謎、質量の謎に迫る。 ILC計画の主線形加速器には378台の1.3GHz 10MWマルチビームクライストロンシステムが搭載される。超伝導加速空洞に加速電場を生成するためのＲＦ電力は、マルチビームクライストロンとそれを駆動するクライストロン電源で構成される。 クライストロン電源はマルクス変調器と呼ばれ、120kV 140A 1.9msのパルス電圧を発生し、マルチビームクライストロンのカソードに供給する。 小型、低コスト、高信頼性が要求される。 試作電源のSiC MOS-FETとSiCダイオードは2.4kVの耐圧が必要であり、1.2kVの耐圧の2つの素子を直列に接続して構成している。 本研究では、信頼性をさらに向上させるために、面実装パッケージ3.3kV耐圧SiCデバイスを搭載したチョッパ型MARXユニットの開発について報告する。 この研究の一部は、つくばパワーエレクトロニクスコンステレーション（TPEC）の共同研究プロジェクトの下で実施されている。