| TUP071 光源加速器 8月9日 コンベンションホール 13:10 - 15:10 |
| 蓄積リング自由電子レーザーによる高平均出力EUV光発生の検討 |
| A Study of High Average Power EUV Free Electron Laser on the Storage Ring |
| ○宮本 修治，橋本 智，木下 博雄（兵庫県立大高度研），田中 隆次，矢橋 牧名，石川 哲也（理研SPring-8センター） |
| ○Shuji Miyamoto, Satoshi Hashimoto, Hiroo Kinoshita (LASTI, Univ. Hyogo), Takasi Tanaka, Makina Yahashi, Tetsuya Ishikawa (RIKEN SPring-8 Center) |
| ニュースバル放射光施設では、極端紫外光リソグラフィー（EUVL)による次世代半導体製造の技術開発として、EUVL光学系実証、レジスト試験、マスク検査法の開発とともに、レーザープラズマ光源の研究も実施してきた。現在、EUVL実用化に向けて、EUV光源のパワーが最大の問題となっている。これの解決策として、加速器光源の研究開発が各所で検討されている。最近、上海のチームが、蓄積リング-シードFEL光源で、PEHG（Phase-merging Enhanced Harmonic Generation) を用いた高出力EUV光発生可能性の提案をした[1]。この、PEHG- FELの成立性を検討し、ニュースバル放射光施設で実証試験を実施するための構成と、その可能性に関して報告する。 [1] C.Feng, B.Jiang, Z.Qi, H.Deng, and Z.Zhao, "Storage ring based PEHG FEL for EUV lithography", OSA meeting, High-Brightness Sources and Light-Driven Interactions (EUV, HILAS, MICS) (2016). |