SUP105 　ポスターセッション２　 8月4日 豊田講堂２階ロビー 13:00 - 15:00

高沿面耐電圧セラミックスの開発研究

Research and development on surface flashover voltage of ceramics.

○三原 修司，前田 岳志（京セラ株式会社），吉岡 正和，松本 浩，栗原 俊一（高エネルギー加速器研究機構），大場 俊幸（日本アドバンストテクノロジー）

○Shuji Mihara, Takeshi Maeda (KYOCERA Corporation), Masakazu Yoshioka, Hiroshi Matsumoto, Toshikazu Kurihara (KEK), Toshiyuki Ohba (NAT)

アルミナ質セラミックスは、金属との接合が容易で比較的安価であるだけでなく、機械的強度が高く低誘電損失でありベーキングも可能であることから、高電圧絶縁部材や高周波窓として広く使用されている。これらセラミックス部材の真空中での絶縁性能は沿面放電によって制約を受けるため、絶縁性能向上のためには沿面放電の抑制が必要である。本研究では、10-9パスカル台の極高真空下でバックグラウンドレベルを下げた高電圧印加試験装置を構築することによって、放電に至る過程として挙げられる電子放出を測定可能とした。本開発研究の結果、アルミナをベースとした材料では電子放出に起因する電流倍増の発生を僅かとすることができ、沿面放電を抑制可能であることが判明した。本発表ではこれらについて報告する。